半导体废水处理
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半导体废水处理
方案概述
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针对半导体废水高氟、络合重金属、难降解有机物、高盐等治理难点,新宇环保集成电催化高级氧化、特种耐氟膜分离、重金属螯合沉淀、低温MVR蒸发结晶等核心技术,构建“达标排放—中水回用—近零排放—资源再生”全链条解决方案。

技术路线

(1)达标排放:分质预处理 → 破络除氟 → 高级氧化 → A/O-MBR生化 → 保安过滤

(2)中水回用:分质预处理 → 破络生化 → 两级特种耐氟反渗透(回用率≥90%)

(3)零排放:分质预处理 → 破络除氟生化 → 特种膜浓缩 → MVR蒸发结晶(回用率≥95%)

技术优势

自主核心产品:自主研发除氟剂(专利)、重金属捕捉剂、特种膜系统;

核心装备自主:耐氟特种膜、低温热泵MVR蒸发器等核心装备自主研发,保障系统长周期稳定运行

全链条技术贯通:掌握高级氧化、膜分离、蒸发结晶全链条核心技术,三类解决方案灵活适配不同排水需求

智慧运维赋能:三级闭环智能加药、智能节电、人机协同三维联动,综合药耗、能耗、人力成本显著降低

功能特点

(1)分质预处理:五大类废水分质收集、分类处置,避免高浓度废水稀释低浓度废水

(2)高级氧化+破络:电催化芬顿氧化高效降解光刻胶等难降解有机物,破除重金属络合键

(3)特种膜分离:耐氟抗污染特种膜元件,耐受高氟高盐工况,实现浓缩减量与回用

(4)蒸发结晶:低温MVR蒸发结晶,实现近零排放与有价金属回收

应用场景

半导体晶圆制造含氟/重金属/有机废水处理

半导体封装测试工序综合废水治理

芯片产线超纯水制备(18.2MΩ·cm级)

半导体产业园区废水零排放及资源化

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