半导体废水处理
方案概述
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针对半导体废水高氟、络合重金属、难降解有机物、高盐等治理难点,新宇环保集成电催化高级氧化、特种耐氟膜分离、重金属螯合沉淀、低温MVR蒸发结晶等核心技术,构建“达标排放—中水回用—近零排放—资源再生”全链条解决方案。
技术路线
(1)达标排放:分质预处理 → 破络除氟 → 高级氧化 → A/O-MBR生化 → 保安过滤
(2)中水回用:分质预处理 → 破络生化 → 两级特种耐氟反渗透(回用率≥90%)
(3)零排放:分质预处理 → 破络除氟生化 → 特种膜浓缩 → MVR蒸发结晶(回用率≥95%)
技术优势
自主核心产品:自主研发除氟剂(专利)、重金属捕捉剂、特种膜系统;
核心装备自主:耐氟特种膜、低温热泵MVR蒸发器等核心装备自主研发,保障系统长周期稳定运行
全链条技术贯通:掌握高级氧化、膜分离、蒸发结晶全链条核心技术,三类解决方案灵活适配不同排水需求
智慧运维赋能:三级闭环智能加药、智能节电、人机协同三维联动,综合药耗、能耗、人力成本显著降低
功能特点
(1)分质预处理:五大类废水分质收集、分类处置,避免高浓度废水稀释低浓度废水
(2)高级氧化+破络:电催化芬顿氧化高效降解光刻胶等难降解有机物,破除重金属络合键
(3)特种膜分离:耐氟抗污染特种膜元件,耐受高氟高盐工况,实现浓缩减量与回用
(4)蒸发结晶:低温MVR蒸发结晶,实现近零排放与有价金属回收
应用场景
半导体晶圆制造含氟/重金属/有机废水处理
半导体封装测试工序综合废水治理
芯片产线超纯水制备(18.2MΩ·cm级)
半导体产业园区废水零排放及资源化
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